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雙頻激光干涉儀測(cè)試直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)給定位精度的研究

雙頻激光干涉儀測(cè)試直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)給定位精度的研究

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簡(jiǎn)介:

應(yīng)用雙頻激光干涉儀對(duì)直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)給的定位精度進(jìn)行了測(cè)試" 在介紹雙頻激光干涉儀測(cè)量原理的基礎(chǔ)上對(duì)直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)給定位精度測(cè)試方法作了詳細(xì)的描述" 測(cè)試結(jié)果發(fā)現(xiàn)!直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)給的速度,加速度的變化對(duì)定位精度的影響不是很大" 利用最小二乘法對(duì)各點(diǎn)定位精度平均值進(jìn)行分段線(xiàn)性擬合!并對(duì)直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)給的定位精度進(jìn)行補(bǔ)償!可以較大地提高直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)給的定位精度"

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